根据《广东海洋大学科技成果转化管理办法》（校科技〔2023〕2号）的规定，现对我校科技成果转化（专利权转让）事项进行公示，公示期间，如对所公示事项有异议，请以书面形式向科技处反映，并请署真实姓名、联系地址和联系电话，逾期不予受理。
科技成果名称：一种薄膜的厚度测量系统
科技成果类型：发明专利
专利号：ZL202011024894.X
专利授权日：2024-07-02
专利权人：广东海洋大学
发明人：杨文虎,张海康,黄存友,杨忠学,崔丽,付东洋
专利简介：目前，涂胶薄膜、微电子薄膜、光学薄膜、抗氧化薄膜、巨磁电阻薄膜和高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中应用广泛，大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜，随着电路集成程度的提高，薄膜厚度的微小变化，就会对集成电路的性能产生直接的影响。因此，工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数。本专利提供一种采用光学测量的方法测量薄膜的厚度的测量系统，包括:探测光纤、第一光纤探头、第二光纤探头、光电转换器、解调放大器、光源、调制脉冲发生器、相敏检波器等模块。该方法不会对薄膜造成损伤，测量结果准确。
受让方：安徽信于行信息科技有限公司
（统一社会信用代码：91340111MA8NWUR6XJ）
是否关联交易：否
定价方式：协议定价
专利转让金额：人民币0.50万元
公示时间：2026年1月15日--2026年月29日
联系人：丁老师
联系电话：0759-8218325
科学技术部
2026年1月15日
